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電感傳感器是輪廓儀的主要部件之一,在傳感器測桿的一端裝有金剛石觸針,觸針尖duan曲率半徑很小,測量時(shí)將觸針搭在工件上,與被測表面垂直接觸,利用驅動(dòng)器以一定的速度拖動(dòng)傳感器。
由于被測表面輪廓峰谷起伏,觸狀在被測表面滑行時(shí),將產(chǎn)生上下移動(dòng)。此運動(dòng)經(jīng)支點(diǎn)使磁芯同步地上下運動(dòng),從而使包圍在磁芯外面的兩個(gè)差動(dòng)電感線(xiàn)圈的電感量發(fā)生變化。
傳感器的線(xiàn)圈與測量線(xiàn)路是直接接入平衡電橋的,線(xiàn)圈電感量的變化使電橋失去平衡,于是就輸出一個(gè)和觸針上下的位移量成正比的信號,經(jīng)電子裝置將這一微弱電量的變化放大、相敏檢波后,獲得能表示觸針位移量大小和方向的信號。
此后,將信號分成三路:一路加到指零表上,以表示觸針的位置,一路輸至直流功率放大器,放大后推動(dòng)記錄器進(jìn)行記錄;另一路經(jīng)濾波和平均表放大器放大之后,進(jìn)入積分計算器,進(jìn)行積分計算,即可由指示表直接讀出表面粗糙度Ra值。